壓力傳感器的敏感原理不僅有電容式、壓阻式、金屬應(yīng)變式、霍爾式、振筒式等等但仍以電容式、壓阻式和金屬應(yīng)變式傳感器zui為多見。 金屬應(yīng)變式壓力變送器是一種歷史較長的壓力傳感器，但由于它存在遲滯、蠕變及溫度性能差等缺點，其應(yīng)用場合受到了很大的限制。 壓阻式傳感器是利用半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)制造的一種新型的傳感器，它具有制造方便，成本低廉等特點，但由于半導(dǎo)體材料對溫度極為敏感，所以其性能受溫度影響較大，產(chǎn)品的一致性較差。 電容式壓力變送器是應(yīng)用zui廣泛的一種壓力變送器，其原理十分簡單。一個無限大平行平板電容器的電容值可表示為： C= ε s/d（ε 為平行平板間介質(zhì)的介電常數(shù)，d 為極板的間距， s 為極板的覆蓋面積） 改變其中某個參數(shù)，即可改變電容量。由于結(jié)構(gòu)簡單，幾乎所有電容式壓力變送器均采用改變間隙的方法來獲得可變電容。電容式壓力變送器的初始電容值較小，一般為幾十皮法，它極易受到導(dǎo)線電容和電路的分布電容的影響，因而必須采用*的電子線路才能檢測出電容的微小變化?？梢哉f，一個好的電容式傳感器應(yīng)該是可變電容設(shè)計和信號處理電路的結(jié)合。 壓力變送器采用了結(jié)構(gòu)簡單、堅固耐用且極穩(wěn)定的可變電容形式，可變電容由壓力腔上的膜片和固定在其上的絕緣電極所組成，當(dāng)感受到壓力變化時，膜片要產(chǎn)生微微的翹曲變形，從而改變了兩極的間距，采用 Setra *的檢測電路測電容的微小變化，并進(jìn)行線性處理和溫度補償。傳感器輸出與被測壓力成正比的直流電壓或電流信號。精巧的結(jié)構(gòu)、高性能的材料及*的檢測電路的結(jié)合，賦予了 Setra 壓力變送器以很高的性能。 |
