擴(kuò)散硅壓力變送器的工作原理

點(diǎn)擊次數(shù)：2706 更新時(shí)間：2012-08-17

主要特點(diǎn) ◆穩(wěn)定性高-每年優(yōu)于0.1%滿量程。 ◆溫度偏移小-由于取消了測量元件中的中介液，因而傳感器不僅獲得了很高的測量精度. ◆可靠性好-采用大規(guī)模IC，電路可靠性好，抗干擾性能強(qiáng)。 ◆適用性廣-產(chǎn)品具有多種型號，多種過程連接形式，可適應(yīng)工業(yè)測量中的各種介質(zhì)。 ◆安裝維護(hù)簡便產(chǎn)品結(jié)構(gòu)合理，體積小,重量輕，可直接任意位置安裝。 工作原理 儀表通過溫度傳感器把溫度信號變?yōu)殡娦盘?，再由前置放大器把此電信號放大濾波，送往CPU的A/D 轉(zhuǎn)換模塊進(jìn)行模擬量到數(shù)字量的變換。zui后由CPU進(jìn)行數(shù)據(jù)處理并顯示及PWM輸出。原理框圖如下： 被側(cè)介質(zhì)--->傳感器--->電子線路--->輸出信號 被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的陶瓷/擴(kuò)散硅膜片/上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微小位移，正常工作狀態(tài)下，膜片zui大位移不大于0.025毫米，電子線路檢測這一位移量后，即把這一位移量轉(zhuǎn)換成對應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)測量信號。超壓時(shí)膜片直接貼到堅(jiān)固的陶瓷基體/擴(kuò)散硅上，由于膜片與基體的間隙只有0.1毫米，因此過壓時(shí)膜片的zui大位移只能是0.1毫米，所以從結(jié)構(gòu)上保證了膜片不會產(chǎn)生過大變形，該傳感器具有很好的穩(wěn)定性和高可靠性。 技術(shù)參數(shù) ◆等級 0.1,0.25,0.5級 ◆回 差 0.1%FS ◆溫度影響 ±0.1%/10℃ ◆工作電壓 DC 13V～30V ◆年穩(wěn)定性 ±0.2% ◆信號輸出 4～20mA ◆允許過壓 量程150% ◆外型尺寸 120×60×100 max ◆zui大壓力 量程200% ◆允許溫度 介質(zhì) -20～70℃ 環(huán)境 -20～80℃

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